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SF6氣體抽真空充氣裝置主要功能件有壓縮機、真空泵、制冷系統、干燥過濾再生器、加熱器、凈化器、過濾器、管道、閥門、儀表、電氣控制以及結構件，框架面板、走輪和貯罐等。

SF6氣體抽真空充氣裝置正確操作流程

 1、SF6氣體的回收

當SF6從一個氣室中抽出時，氣體便自動地流經凈化過濾器，通過SF6壓縮機壓縮冷卻，可以氣態也可以在一定高壓下以液態形式儲入SF6貯罐。

2、SF6開關抽真空

通過真空泵把開關中的空氣及濕氣可以抽除，真空泵的出口通向大氣。

3、充氣

經凈化和干燥的SF6從貯罐充回到已抽成真空的氣室中，直到氣室內壓力達到調定的工作壓力。上述工作分兩個步驟進行:

借助SF6貯罐壓力使氣體流向SF6開關，直至達到預定的充氣壓力。

2、當SF6貯罐壓力與SF6開關壓力平衡時，再采用壓縮機進行加壓充氣，直至達到預定充氣壓力。